GR-H 高分辨率光栅尺
分辨率 0.1μm，精度 ±3μm/m，用于精密磨床、光学加工与半导体设备的定位反馈。
技术参数
| 测量行程 | 50 ~ 1500 mm |
|---|---|
| 栅距 | 4 μm |
| 分辨率 | 0.1 μm |
| 系统精度 | ±3 μm/m |
| 输出信号 | 1 Vpp / TTL |
| 防护等级 | IP53 |
| 工作温度 | 0 ~ +50 ℃ |
| 尺身材料 | 硬质玻璃 + 铝底座 |
产品详情
GR-H 使用硬质玻璃基体与 4μm 栅距的铬光栅，热膨胀系数低，配合低膨胀安装底座可在温度波动环境中保持精度稳定。
输出 1Vpp 正弦或高倍细分 TTL，配合细分模块最高可实现 0.01μm 显示分辨率，满足精密磨削与光学加工的位置闭环需求。
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